在真空區段，實(shí)現了兩種不同的PVD工藝：來(lái)自完全密封的輻射加熱石黑坩堝的用于低熔點(diǎn)材料如鋅或鎂等的調整蒸發(fā)的JET-PVD鍍膜。用兩個(gè)100KW電子從水冷銅坩堝中調整蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料如鐵、鎳和鈦以及金屬化合物、無(wú)機化合物(如二氧化硅)等的EB-PVD鍍膜。運行的結果從已經(jīng)得到廣泛試驗的JET-PVD和等離子清洗工藝獲得。在本文的余下部分將相當詳細在描述這些結果，包括實(shí)際工藝試驗程序的結果。

連續鋼帶鍍膜的試驗型生產(chǎn)線(xiàn)為了實(shí)現如前面章節所描述的聯(lián)合工藝的新型鍍膜概念，一條具有模塊式結構包含很多新鍍膜技術(shù)的用于鋼帶連續處理的試驗型加工生產(chǎn)線(xiàn)被幾個(gè)合作者(工業(yè)的和科研的團體)的聯(lián)營(yíng)企業(yè)安裝在DOC。這條試驗型生產(chǎn)線(xiàn)的目的是用于為鋼帶特別研發(fā)新型鍍膜系統和工藝。所有的工藝模塊是按走帶速率達到60M/MIN和帶寬達300MM設計的。這樣就可以獲得有價(jià)值的經(jīng)驗，以便把這些工藝升級到工業(yè)規模。在具有全長(cháng)接近80M的試驗型生產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)現和結合的不同的新鍍膜技術(shù)顯示在圖5中。PVD工藝技術(shù)是被凡阿那研究所和夫瑯和費金屬與電子技術(shù)協(xié)會(huì )通過(guò)緊密合作來(lái)研發(fā)和實(shí)現的。

鍍膜技能在刀具、模具等金屬切削加工東西方面的運用在生活中咱們會(huì )看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等，這些即是通過(guò)鍍膜技能加工后的涂層東西。金黃色的是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN涂層。TiN是一代運用廣泛的硬質(zhì)層資料。黑色的是在切削東西上涂了TiC、CrN涂層。鈷銅色的是在刀具上鍍涂了TiALN涂層。鍍膜技能在信息存儲范疇中的運用薄膜資料作為信息記載于存儲介質(zhì)，有其得天獨厚的優(yōu)勢：因為薄膜很薄能夠疏忽渦流損耗；磁化回轉極為敏捷；與膜面平行的雙穩態(tài)狀況簡(jiǎn)單保持等。